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质谱仪——QMG422分析型质谱 |
技术参数
质量数范围（最大） amu
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1~2048 |
| 检测器 |
法拉第筒/90度离轴二次电子倍增器 |
检测极限 mbar
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<1 x 10-11/<5
x 10-15 |
| 灵敏度 A/mbar |
<2 x 10-4/1000 |
| 最大工作压强 mbar |
10-4/10-5 |
| 离子源 |
开式，闭式，交叉束，栅网，能量透镜等 |
应用中的显著特征:
高档四极质谱仪 |
分立部件,模块化,多样化,可扩展设计 |
| 可在极超高真空条件下分析 |
可实现定性气体分析 |
| 可实现快速分析 |
可配离子计数器,分析单个离子 |
| 质量数范围:最高可达2048amu |
可实现多路控制 |
应用领域：
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真空残余气体分析 |
超高真空残余气体分析, |
| 溅射过程气体分析 |
等离子体过程气体分析, |
| 蒸发材料气体分析 |
在线气体分析, |
| 微量夹杂气体分析 |
呼吸气体分析 |
| 充气气体成分分析 |
同位素分析 |
| 光学镜片清洁度检测 |
电子显微镜水分检测 |
| 半导体基片清洁度检测 |
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