COD

COV

IOV

MIM

VSG

MOV

CGS

Plasma

真空炉——IOV感应加热的真空热处理炉

　　PVA公司的IOV系列真空炉用于工作真空高于1800oC,同时系统有很多粉尘,冷凝物或水汽的情况下.原因在于加热是通过电磁场感应产生的,电极不必直接通到加热区.石墨衬作为加热单元,同时对置于感应线圈和石墨衬之间的保温石墨碳毡起到保护层的作用.

　感应线圈由铜管制成,表面镀绝缘陶瓷材料,水冷,以防短路和起弧.

　中频电源通过低损耗同轴电极引入

　IOV炉子可以用于高真空,过压保护气体或反应性气体的全范围操作要求.

　IOV炉子成功地用于CVD过程,例如用SIC镀碳等.

　IOV炉子还可以用于难熔金属的炭化.可以将难熔金属氧化物转化成碳化物,用于生产混合晶体.

　IOV炉子还可用于疏松硬质合金如钨,铬等的导电性介质(如铜,银等)的真空渗透.这些材料可以用于真空开关等.

　烧结,除气,清洁,钎焊也是IOV炉子的主要应用.

主要技术指标: 容积0.3～400升；真空度10-5～1800mbar，最高温度3000°C