COD

COV

IOV

MIM

VSG

MOV

CGS

Plasma

真空炉——COV石墨电阻加热的真空热处理炉

　　石墨电阻加热的COV真空热处理炉是一种应用广泛的，高效率热处理炉系统。其核心是石墨加热棒元件。均匀分布在工作空间。

　　炉子可设计成立式或卧式炉， 容量可以为0.5～6750升，压力范围可为10-5～1800mbar，最高温度可达3000°C

　　温度均匀性最好可达3度

　　带前后炉门，易于维修和装卸炉料

　　如用于硬质合金烧结时,则配置六面封闭的石墨料箱,用于脱成型剂（可脱石蜡，PEG，橡胶以及其他特种成型剂）,在紧接的烧结过程中，凭借压力调节装置调节分压以抑制钴蒸汽。必要时，可采用反应气体或惰性气体进行压力调节。

　　可采用外部快速循环冷却，自行设计的高效热交换器，可采用氢气或氩气作为冷却气体

　　基本技术指标: 容积为0.5 至1200升，真空度范围为10-5～1800mbar，最高温度2400°C

COV系列设备的几个典型应用实例及其相应的温度范围：

　　最高工作温度：1100°C

　　　热处理，钎焊，脱气和脱蜡

　　特殊应用:水雾化金属粉末的脱气和干燥

　　最高工作温度：1350°C

　　　热处理，钎焊，脱气，脱蜡和烧结

　　最高工作温度：1400-2000 °C

　　　氮化硅以及难熔金属粉末炭化物粉末生产

　　最高工作温度：1600°C

　　　硬质合金的脱蜡和烧结

　　最高工作温度：1500-1900 °C

　　　无压力烧结非氧化物陶瓷,例如炭化硅

　　最高工作温度：1800°C

　　　非氧化陶瓷的烧结

　　特殊应用:CVD过程,例如在石墨基第上镀SiC

　　最高工作温度：2000°C

　　　CVD-，和热解过程，脱气和清洁,烧结

　　特殊应用:在反应气体条件下清洁石墨

　　最高工作温度：2200°C

　　　CVD-过程，脱气和清洁

　　最高工作温度：3000°C

　　　特殊应用