COD

COV

IOV

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CGS

Plasma

真空炉 Vacuum Furnace

PVA Tepla AG集团-材料处理的新方向

　　PVA Tepla 公司是一个具有时代创新精神的世界领先的设备供应商。其产品广泛地用于复杂材料的分析和处理。作为生产高温和等离子体处理设备的真空专家，可为半导体行业、硬质合金行业、电力、电子、汽车、航天、化学，环保，材料和表面处理，食品工业及多种能源技术行业提供真空炉，等离子体清洗以及晶体生长炉等设备和服务, 同时我们公司还为废水处理（UV-C radiation）提供先进的紫外灯技术和系统方案。

　　PVA Tepla 目前有员工300多人。在德国多个城市以及美国有生产基地，在世界各国有广泛的销售和服务网络。

　　PVA Tepla公司分为3个分部，分别为真空系统分部，晶体生长分部，等离子体分部。

　　PVA TePla公司的真空系统分部是在原巴尔采司公司的真空炉技术的基础上发展而来的,从1946年在瑞士巴尔采司设立冶金部门起，到1992年独立成为PVA公司,到2002年5月与TePla AG正式合并成为PVA TePla AG. PVA TePla AG已发展成为欧洲最大的真空炉公司之一。

　　PVA公司在真空热处理系统、材料和部件的热处理工艺方面有其专长，并已成为您值得信赖的合作伙伴。

　　PVA TePla AG公司的真空炉,早在出厂前即进行全面的出厂验收,从而保证了在客户现场的高效安装. 同时,PVA TePla AG的炉子配有最先进的控制系统,最全面的安全连锁概念以及最简单的可视化操作界面,所有这一切均保证了生产过程的高可靠性及重复性。

COD真空加压烧结设备

IOV 感应加热的真空热处理炉

VSG真空熔化浇铸炉

MOV全金属加热的高真空，超高真空钎焊，退火，脱气等热处理设备

COV石墨电阻加热的真空热处理设备

金属注射成型技术（MIM）

　　晶体生长炉部门位于德国Hanau,其技术基础为德国莱宝公司的原晶体生长系统分部，1999年8月PVA Tepla公司成为该公司的主要股东。迄今为止，已总共生产硅晶体生长炉500多台，最大半径达450毫米。 另外本公司也生产化合物半导体晶体如砷化镓，磷化铟以及红宝石以及其他氧化物晶体的晶体生长炉，用于光电效应的单晶和多晶硅设备或部件，用于光学晶体生长的立式梯度凝结炉(VGF)，用于硅晶体上外延SiGe的外延炉。广泛服务于半导体、太阳能，通讯等行业。

硅单晶，多晶生长炉	半导体化合物晶体生长炉	光学晶体生长炉	宝石生长炉
太阳能系统	外延系统	实验室系统

　　等离子体技术分部位于德国Feldkirchen, 提供低压和大气压下等离子体设备以及高技术工业和研发领域使用的计量设备， 迄今为止已有25年以上的历史，为各个领域提供了2000多套设备。

主要应用领域：

半导体	印刷电路板和高密度接头	医药/生化领域
电气电子领域	汽车工业

主要功能：

周期式感光树脂剥离系统

石英器皿清洁系统

纯平显示器生产线清洗设备

光电器件刻蚀系统

芯片/印刷电路板激活系统

汽车/电子工业清洁激活系统