低温泵

干燥，无油真空　　高的气体容量　　能以任意角度安装

工作范围：

　 10-1-10-10mbar(短周期) 　　　　　 所有高真空泵具超高抽吸速度
　 前级泵仅仅用作启动 　　　　　　　 紧凑型，高效设计
　 对侵入的大气没有反应 　　　　　　 低的操作费用
　 闭路循环　　　　　　　　　　　　 低温氦冷
　 冷却温度范围：6.5K-290K　　　　　 高制冷能力
　 低的操作费用　　　　　　　　　　 可方便的在冷温环境下进行测量
　 专利几何设计，能以任意角度安装　 温度测量简单

应用领域：

　适用于高真空，超高真空获得，也可用于以下领域：

微粒加速器	熔化测试系统	仿真空室
溅射设备	热烧结系统	用金属处理
离子刻蚀系统	电子束无焊缝处理	冶金领域
薄膜产品	真空炉

低温泵特征：

绝对无油，超洁净的真空
对水气的抽空能力超强
极限真空可达：能量消耗低，冷却水消耗低
专业的低温泵技术具备比一般低温泵更大的抽速，在保证对水气抽气能力的前提下，同时可以对其他气体进行抽速调节（调节范围从10%--100%）。
接口：DN 100---DN 500